В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12

^ В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Хим разработка. 2002. №12. С.3-12. Е.П.Прокопьев.Вероятный синергетический подход к дилемме окисления структур КНИ. Тезисы доклада 4-ого интернационального В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 семинара «Нелинейные процессы и препядствия самоорганизации в современном материаловедении». 3-5 октября 2002. Астрахань, Наша родина. АГПУ: Астрахань, 2002. С.62. Е.П.Прокопьев. Вероятные синергетические эффекты в эволюции параметров структур КНИ. Тезисы доклада 4-ого интернационального семинара В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 «Нелинейные процессы и препядствия самоорганизации в современном материаловедении». 3-5 октября 2002. Астрахань, Наша родина. АГПУ: Астрахань, 2002. С.74. В.И.Графутин, А.Г.Залужный, А.Л.Суворов, Е.П.Прокопьев. Применение способа позитронной аннигиляции В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 для исследования изъянов структуры в радиационной физике материалов. Статья на XII-ом Международном совещании «Радиационная физика твердого тела». Севастополь, 30 июня-7 июля 2002 г. М.: МИЭМ, 2002. C.398-401. А.Л.Суворов, В.И.Графутин, А.Г.Залужный, О В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ способом позитронной аннигиляции (ОБЗОР). Сборник докладов XII Интернационального совещания «Радиационная физика твердого В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 тела». Севастополь, 30 июня-7 июля 2002 г. М.: МИЭМ (ТУ), 2002. C.22-25. В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. Smart-cut разработка получения тонких слоев кремния, германия и слоев кремний/германий на разных подложках полупроводников и В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 изоляторов. Труды восьмая интернациональной научно-технической конференция "Животрепещущие задачи твердотельной электроники и микроэлектроники" (ПЭМ-2002). Пос. Дивногорское, Наша родина, Таганрог. 2002. Ч.1. С.109,110.

  1. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, С.А. Дьячков Моделирование В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 и оптимизация процесса синтеза мелкодисперсных порошков оксидов, кремния и диэлектрического стекловидного материала состава SiO2 - Al2O3 - BaO в частотной индукционной воздушной и аргон-кислородной плазме. Теоретические базы химичеcкой технологии. 2002. Т.36. №5. С В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.500-505.
S.P.Timoshenkov, E.P.Prokop'ev, V.I.Grafutin About a Possibility of Usage of Smart-Cut Process for Obtaining of Thin Monocrystalline Silicon Carbide Layers // Abstracts of the IV International Seminar В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 on Silicon Carbide and Related Materials. - May 30-31, 2002. - p.30. (International seminar " Silicon Carbide and Related Materials" (ISSCRM-2002). Great Novgorod, May 30-31, 2002, Novgorod Yaroslav Mudryi State University, 2002). Е.П.Прокопьев, C.П.Тимошенков В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Smart-cut разработка получения тонких слоев германия, кремния и слоев кремний/германий на разных подложках полупроводников и изоляторов. Электроника и информатика-2002. IV Интернациональная научно-техническая конференция В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.272. Е.П.Прокопьев, C.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин.Исследование процесса сращивания пластинок кремния по данным выделения паров воды. Тезисы докладов Всероссийской научно-технической В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 конференции (НМТ-2002) “Новые материалы и технологии” «МАТИ» 22-23 октября 2002 года.- Русский муниципальный технологический институт им. К. Э. Циолковского. 2002. C.52,53. Е.П.Прокопьев Вероятные синергетические эффекты в дилемме окисления кремния в атмосфере мокроватого В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 кислорода и воздуха. Электроника и информатика-2002. IV Интернациональная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.270, 271.

  1. В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.К.Мингазов, Ю.В.Фунтиков. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ способом позитронной аннигиляции. Электроника и информатика-2002. IV Интернациональная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 1. Москва, 2002. C.200, 201.

  2. С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, С.А.Дьячков. Синтез мелкодисперсных порошков в частотной плазме. Физика и химия обработка материалов. 2002. №5. С.26-31.

  3. Е.П.Прокопьев .О способности исследования технологий природных процессов В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 с целью их практического использования (для разработки новых процессов). Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов 6-ой интернациональной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.85.

  4. Е.П.Прокопьев. Вероятные синергетические В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 эффекты в эволюции параметров структур КНИ. Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов 6-ой интернациональной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.47-49.

  5. Е.П.Прокопьев. Вероятный синергетический подход к дилемме окисления структур В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 КНИ. Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов 6-ой интернациональной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.46-47.

  6. Е.П.Прокопьев. Особенности процесса окисления кремния в атмосфере мокроватого воздуха и кислорода В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12. Материаловедение. 2002. №12. С.24-29.
Е.П.Прокопьев. Исследование процесса окисления кремния в атмосфере мокроватого воздуха и кислорода синергетическими способами. Оборонный комплекс-научно техническому прогрессу Рф. 2002. №4. С.27-32. Е.П.Прокопьев. О синергетическом подходе к дилемме окисления кремния. Материалы В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 докладов на 6-й Интернациональной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем» (МК МБХиФНС), Иваново-Плёс, ИГХТУ, 27 мая – 2 июня 2002, Иваново: Издательство ИвГУ,2002. С.301-304.

  1. В.И.Графутин, О.В.Илюхина В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.К.Мингазов, Ю.В.Фунтиков. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ способом позитронной аннигиляции. Электроника и информатика-2002. IV Интернациональная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.200, 201.

  2. Е.П.Прокопьев. О синергетическом подходе к дилемме окисления кремния. Материалы докладов на 6-й Интернациональной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем» (МК МБХиФНС), Иваново В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12-Плёс, ИГХТУ, 27 мая – 2 июня 2002, Иваново: Издательство ИвГУ,2002. С.301-304.

  3. С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, С.А.Дьячков. Синтез мелкодисперсных порошков в частотной плазме. Физика и химия обработка материалов. 2002. №5. С.26-31.

  4. А.В.Нестерович, Ю В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.Я.Лапицкий, В.И.Графутин, А.Г.Залужный, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. Разработка источников ионов водорода с энергией 60 - 150 КэВ для производства структур КНИ способом газового скалывания. Научная сессия МИФИ-2003. II В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2003. С.87-89.

  5. В.И.Графутин, А.Г.Залужный, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, А.Л.Суворов, С.П В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.Тимошенков. Создание структур КНИ способами газового скалывания: развитие технологии и новые многообещающие использования. Научная сессия МИФИ-2003. II Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2003. С.90-92.

  6. Е.П.Прокопьев В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12. Вероятные динамические эффекты эффекты в дилемме окисления кремния в атмосфере мокроватого кислорода и воздуха. Научная сессия МИФИ-2003. Сборник научных трудов. Том 9. М.: МИФИ, 2003. С.92-94.

  7. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12, Д.К.Григорьев, В.В.Калугин, Ал.С.Тимошенков. Научные базы технологии структур кремний на изоляторе. Петербургский журнальчик электроники. 2002. №2. С.15-28.

  8. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Д.К.Григорьев, В.В.Калугин В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12, А.С.Тимошенков. Научные базы технологии структур кремний на изоляторе (продолжение). Петербургский журнальчик электроники. 2002. №3. С.16-32.

  9. С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Исследование технологии чистки поверхности пластинок кремния в процессе В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12 производства структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микросистемная техника. 2003. №1. С.13-22.


vvedenie-sistema-faktorov-formoobrazovaniya-v-dizajne-interera-kak-osnova-metodiki-postroeniya-processa-uchebnogo.html
vvedenie-sostav-proektnih-materialov.html
vvedenie-stranica-10.html